多晶合成爐
多晶合成爐主要用于GaAs、CdTe等多種化合物材料的多晶合成工藝。
多晶合成爐設備特點
十年爐體生產工藝經驗，壽命長、溫場穩定。
高低溫爐體獨立可控，保證了合成過程中的安全穩定。
頂部水冷系統及精準的工藝流程控制，提升工藝保障力。
技術參數
| 電源電壓 | 380V |
| 控溫精度 | ±0.2℃ |
| 功率 | 35kw |
| 爐膛尺寸 | 120mm |
| 高溫爐體長度 | 900mm |
| 低溫爐體長度 | 750mm |
| 高溫爐體長期工作溫度 | 1250℃ |
| 低溫爐體長期工作溫度 | 1250℃ |
| 冷卻方式 | 水冷 |
| 爐體結構 | 臥式多溫區管狀 |
| 加熱溫區段數 | 8段（高溫5段，低溫3段） |
| 顯示及監控段數 | 8段 (可定制) |
| 控制方式 | 微控 |
| 升溫超調 | 優于0.3℃ |
| 生長過程慢速降溫超調 | 優于0.3℃ |
